Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u čistoj sobi za poluvodiče (FAB)

Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u čistoj sobi za poluvodiče (FAB) je približno 30 do 50%, što omogućuje usku marginu pogreške od ±1%, kao što je to slučaj u zoni litografije - ili čak i manje u zoni obrade dalekog ultraljubičastog zračenja (DUV) - dok se drugdje može smanjiti na ±5%.
Budući da relativna vlažnost ima niz čimbenika koji mogu smanjiti ukupnu učinkovitost čistih soba, uključujući:
1. Rast bakterija;
2. Raspon ugodne temperature prostorije za osoblje;
3. Pojavljuje se elektrostatički naboj;
4. Korozija metala;
5. Kondenzacija vodene pare;
6. Degradacija litografije;
7. Apsorpcija vode.

Bakterije i drugi biološki zagađivači (plijesni, virusi, gljivice, grinje) mogu napredovati u okruženjima s relativnom vlagom većom od 60%. Neke bakterijske zajednice mogu rasti pri relativnoj vlažnosti većoj od 30%. Tvrtka smatra da vlažnost treba kontrolirati u rasponu od 40% do 60%, što može smanjiti utjecaj bakterija i respiratornih infekcija.

Relativna vlažnost u rasponu od 40% do 60% također je umjeren raspon za ljudsku udobnost. Previše vlage može uzrokovati osjećaj zagušenosti, dok vlažnost ispod 30% može uzrokovati suhoću, ispucalu kožu, respiratorne tegobe i emocionalnu nesreću.

Visoka vlažnost zapravo smanjuje nakupljanje elektrostatskih naboja na površini čiste sobe – što je željeni rezultat. Niska vlažnost idealna je za nakupljanje naboja i potencijalno štetan izvor elektrostatskog pražnjenja. Kada relativna vlažnost prijeđe 50%, elektrostatički naboji počinju brzo nestajati, ali kada je relativna vlažnost manja od 30%, mogu dugo trajati na izolatoru ili neuzemljenoj površini.

Relativna vlažnost između 35% i 40% može se koristiti kao zadovoljavajući kompromis, a čiste sobe za poluvodiče općenito koriste dodatne kontrole kako bi se ograničilo nakupljanje elektrostatskih naboja.

Brzina mnogih kemijskih reakcija, uključujući procese korozije, povećavat će se s porastom relativne vlažnosti. Sve površine izložene zraku oko čiste sobe su brze.