Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u poluvodičkoj (FAB) čistoj sobi

Ciljana vrijednost relativne vlažnosti u poluvodičkoj (FAB) čistoj sobi je približno 30 do 50%, što dopušta usku granicu pogreške od ±1%, kao što je u zoni litografije – ili čak manje u dalekoj ultraljubičastoj obradi (DUV). zoni – dok se drugdje može smanjiti na ±5%.
Budući da relativna vlažnost ima niz čimbenika koji mogu smanjiti ukupnu učinkovitost čistih soba, uključujući:
1. Bakterijski rast;
2. Raspon udobnosti sobne temperature za osoblje;
3. Pojavljuje se elektrostatički naboj;
4. Korozija metala;
5. Kondenzacija vodene pare;
6. Degradacija litografije;
7. Upijanje vode.

Bakterije i drugi biološki zagađivači (plijesni, virusi, gljivice, grinje) mogu se razvijati u okruženjima s relativnom vlagom većom od 60%. Neke bakterijske zajednice mogu rasti pri relativnoj vlažnosti većoj od 30%. Tvrtka vjeruje da vlagu treba kontrolirati u rasponu od 40% do 60%, čime se može minimizirati utjecaj bakterija i respiratornih infekcija.

Relativna vlažnost u rasponu od 40% do 60% također je umjeren raspon za ljudsku udobnost. Previše vlažnosti može uzrokovati osjećaj zagušljivosti, dok vlažnost ispod 30% može uzrokovati osjećaj suhe, ispucale kože, nelagodu pri disanju i emocionalnu nezadovoljstvo.

Visoka vlažnost zapravo smanjuje nakupljanje elektrostatičkog naboja na površini čiste sobe – željeni rezultat. Niska vlažnost idealna je za nakupljanje naboja i potencijalno štetan izvor elektrostatičkog pražnjenja. Kada relativna vlažnost prijeđe 50%, elektrostatički naboji počinju brzo nestajati, ali kada je relativna vlažnost manja od 30%, mogu dugo ostati na izolatoru ili neuzemljenoj površini.

Relativna vlažnost između 35% i 40% može se koristiti kao zadovoljavajući kompromis, a čiste sobe poluvodiča općenito koriste dodatne kontrole za ograničavanje nakupljanja elektrostatičkog naboja.

Brzina mnogih kemijskih reakcija, uključujući procese korozije, povećavat će se s povećanjem relativne vlažnosti. Sve površine koje su izložene zraku oko čiste sobe su brze.