
BSLtech poluvodičko RJEŠENJE
Razvoj vašeg stručnog znanja u poluvodičkoj industriji često zahtijeva čiste sobe ili laminarne kabinete s visokom ISO klasom (ISO 5 ili višom). Bavite li se procesima osjetljivim na UV zračenje? Čak i tada BSL isporučuje pravu čistu sobu. Čiste sobe imaju visokokvalitetnu završnu obradu zidova i rasvjetu s UV filterom. Korištenjem antistatičkih (ESD) materijala i antistatskih šipki na sustavu filtera, statički naboj u zraku neutralizira se.
Kada otplinjavanje nije poželjno, BSL nudi čistu sobu od materijala koji ne ispuštaju plinove (PU). Ova tehnologija potječe iz zrakoplovne industrije.
Tipični procesi u industriji poluvodiča:
● Zaštita podloga i silicijskih pločica
● Istraživanje EUV-a
● Poravnavači maski
● Vakuumsko nanošenje, nanošenje tankog filma
● Aplikacije za ispis
● Optika
Procesi na front-endu i back-endu