BSLtech Semiconductor RJEŠENJE
Razvijanje vaše stručnosti u industriji poluvodiča često zahtijeva čiste sobe ili kabinete s laminarnim protokom s visokom ISO klasom (ISO 5 ili više). Imate li posla s UV-osjetljivim procesima? Čak i tada BSL isporučuje pravu čistu sobu. Čiste sobe imaju visokokvalitetnu završnu obradu zidova i imaju rasvjetu s UV filtrom. Upotrebom antistatičkih (ESD) materijala i antistatičkih šipki na sustavu filtera neutralizira se statički naboj u zraku.
Kada otplinjavanje nije poželjno, BSL nudi čistu sobu od materijala koji ne ispuštaju plin (PU). Ova tehnologija potječe iz zrakoplovne industrije.
Tipični procesi u industriji poluvodiča:
● Zaštita podloga i silikonskih pločica
● EUV istraživanje
● Poravnavači maske
● Vakuumsko premazivanje, taloženje tankog filma
● Aplikacije za ispis
● Optika
Front-end i back-end procesi